一个纯粹的铸造厂
MEMS和薄膜器件

度量衡学

在MMD,我们为能够为客户提供可重复,可靠的MEMS生产服务而感到自豪。为确保这一质量水平,我们通过全套计量工具不断监控我们所有的主要制造流程。过程监视器和质量检查自动内置于我们的生产过程流程中。在设备生产的每个主要阶段进行一致的质量检查是我们成功的关键。

功能

  • 显微镜检查
  • SEM检查
  • 线宽检查
  • 电阻率/薄层电阻
  • 机械轮廓术
  • 光学轮廓术
  • 压力测量
  • 光学干涉测量
  • 椭偏仪
  • IR债券检查
  • EDX,俄歇,ESCA材料分析
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