一个纯粹的铸造厂
MEMS和薄膜器件

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高温处理在全自动卧式炉中进行,每次可处理多达100个晶圆的批量。 SPC分析用于确保运行重复性和晶圆内均匀性小于±3%。每个炉管在其自己的微处理器上独立运行。软件控制使我们能够灵活地匹配炉子配方以满足客户的需求。

功能

  • 湿氧化
  • 干氧化
  • POCl3掺杂,n型
  • 硼掺杂,P型
  • 深硼扩散
  • 金属退火,N2
  • 金属退火,形成气体
  • 扩散开车
  • 离子注入激活
炉